VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2020 Edition

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Optische Messtechnik an Mikrotopografien – Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Published By	Publication Date	Number of Pages
DIN	2020-02	50

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Categories: 17.180.01 - Optics and optical measurements in general, DIN

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Description

Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.*www.vdi.de/2655

Additional information

Published Code	DIN
Published By	Deutsches Institut für Normung
Publication Date	2020-02
Pages Count	50
Language	Germany
Descriptors	Abnahmebedingung, Anforderung, Begriffe, Berechnung, Definition, Ebenheit, Eigenschaft, Form, Formmessung, Grenzwellenlänge, Interferenz, Interferenzmessverfahren, Interferenzmikroskop, Interferometer, Kalibrierung, Merkmal, Messgerät, Messtechnik, Messung, Messunsicherheit, Mikroskop, Mikroskopie, normal, Oberfläche, Oberflächenmessgerät, optische Messung, optisches System, Strahlengang, Topographie, Vergleichbarkeit, Wellenlänge
File Size	3.0 MB
ICS Codes	17.180.01 - Optics and optical measurements in general